[实用新型]一种氮气制备装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种氮气制备装置，涉及电子高纯辅助材料制备技术领域。氮气制备装置包括空气净化单元、变压吸附单元以及加碳脱氧单元，空气净化单元与变压吸附单元连接，变压吸附单元与加碳脱氧单元连接；变压吸附单元包括吸附塔，吸附塔内放置有吸附剂；加碳脱氧单元包括脱氧器，脱氧器内放置有碳催化剂。本实用新型实施例提出的氮气制备装置能够同时生产仪表风、低纯氮以及高纯氮等不同纯度的氮气，满足用户对不同纯度氮气的用气需求，同时，仪表风、低纯氮以及高纯氮之间的产量能够相互协调补充，使得氮气资源能够得到最大程度的利用。

技术领域

本实用新型涉及电子高纯辅助材料制备技术领域，尤其涉及一种氮气制备装置。

背景技术

随着国内对电子材料需求的日益增加，配套的各种电子特气供应需求也日趋短缺。在电子材料生产领域中，例如，碳化硅涂层生产领域，需要用到不同纯度的氮气，现有技术中，不同纯度的氮气由不同设备供应，不同纯度氮气的产量不能够相互协调补充，造成不同纯度氮气资源的浪费/不足的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题是：不同纯度的氮气由不同设备供应，不同纯度氮气的产量不能够相互协调补充，造成不同纯度氮气资源的浪费/不足的问题。

为了解决上述问题，本实用新型实施例提出一种氮气制备装置，包括空气净化单元、变压吸附单元以及加碳脱氧单元，空气净化单元与变压吸附单元连接，变压吸附单元与加碳脱氧单元连接；变压吸附单元包括吸附塔，吸附塔内放置有吸附剂；加碳脱氧单元包括脱氧器，脱氧器内放置有碳催化剂。

其进一步的技术方案为，空气净化单元包括除油器以及冷干机，除油器与冷干机连接。

其进一步的技术方案为，空气净化单元还包括精密过滤器，冷干机与精密过滤器连接。

其进一步的技术方案为，空气净化单元还包括空压机以及第一空气缓冲罐，空压机与第一空气缓冲罐连接，第一空气缓冲罐与除油器连接。

其进一步的技术方案为，空气净化单元还包括活性炭吸附器以及第二空气缓冲罐，精密过滤器与活性炭吸附器连接，活性炭吸附器与第二空气缓冲罐连接。

其进一步的技术方案为，变压吸附单元包括两个吸附塔，两吸附塔相互连接且均与第二空气缓冲罐连接。

其进一步的技术方案为，变压吸附单元还包括第一粉尘精滤器以及低纯氮缓冲罐，第一粉尘精滤器分别与两吸附塔以及低纯氮缓冲罐连接。

其进一步的技术方案为，加碳脱氧单元还包括换热器、加热器以及水冷器，换热器分别与低纯氮缓冲罐、加热器、脱氧器以及水冷器连接，加热器与脱氧器连接。

其进一步的技术方案为，加碳脱氧单元还包括微热再生干燥器、第二粉尘精滤器以及高纯氮缓冲罐，微热再生干燥器分别与水冷器以及第二粉尘精滤器连接，第二粉尘精滤器与高纯氮缓冲罐连接。

其进一步的技术方案为，氮气制备装置还包括仪表风储罐、低纯氮储罐以及高纯氮储罐，仪表风储罐与精密过滤器连接，低纯氮储罐与低纯氮缓冲罐连接，高纯氮储罐与高纯氮储罐连接。

与现有技术相比，本实用新型实施例所能达到的技术效果包括：

本实用新型实施例提出的氮气制备装置能够同时生产仪表风、低纯氮以及高纯氮等不同纯度的氮气，满足用户对不同纯度氮气的用气需求，同时，仪表风、低纯氮以及高纯氮之间的产量能够相互协调补充，使得氮气资源能够得到最大程度的利用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提出的一种氮气制备装置的结构示意图。