[实用新型]一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备

摘要

本实用新型公开了本实用新型提供了一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：基座、腔体支座、一组腔体支架、腔体和伺服电机，所述腔体支座设于基座上，所述腔体设于腔体支座的上方，且所述腔体支架一侧与腔体支座连接，另一侧与腔体连接，所述伺服电机设于腔体的一侧，并通过一组电机连接架与腔体支座连接。本实用新型中所述的一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，通过伺服电机代替普通电机，用伺服电机的制动功能取代气缸凸轮制动功能，取消制动气缸、凸轮、外置编码器和读取齿盘，降低产品的成本，提高装配效率和维修性能，同时也提高了改设备工作的稳定性，降低晶圆加工的破损率。