[实用新型]一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备

权利要求书

1.一种高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：包括：基座（1）、腔体支座（2）、一组腔体支架（3）、腔体（4）和伺服电机（5），所述腔体支座（2）设于基座（1）上，所述腔体（4）设于腔体支座（2）的上方，且所述腔体支架（3）一侧与腔体支座（2）连接，另一侧与腔体（4）连接，所述伺服电机（5）设于腔体（4）的一侧，并通过一组电机连接架（51）与腔体支座（2）连接。

2.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括喷水装置（6）、加热装置（7）和静电消除器（8），所述喷水装置（6）通过安装座与腔体（4）连接，且所述喷水装置（6）与水管（9）连接，所述加热装置（7）两端与腔体（4）连接，所述静电消除器（8）设于腔体（4）的表面。

3.根据权利要求2所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述喷水装置（6）靠近水管（9）的一侧设有第一气动阀（62），且所述喷水装置（6）通过一组PFA接头与第一气动阀（62）连接，所述水管（9）远离喷水装置（6）的一端设有一组分支管道（63）；

所述加热装置（7）的一端设有过滤器（71）和第三气动阀（72）。

4.根据权利要求3所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述分支管道（63）包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器（631），所述第二分支管道上设有第二气动阀（632），所述第二气动阀（632）通过固定架与腔体（4）连接，且位于第二气动阀（632）的下方设有分气块（633），所述分气块（633）的一侧设有压力传感器（631）。

5.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括电磁阀（10），所述电磁阀（10）通过电磁阀安装支架（11）与腔体（4）连接；所述电磁阀安装支架（11）包括支撑箱架（111）和辅助支架（112），所述支撑箱架（111）一端固定于腔体（4）上，所述辅助支架（112）一端与支撑箱架（111）连接，另一端与喷水装置（6）连接。

6.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述基座（1）包括安装基板（101）、一组竖向支撑架（102）和限位板（103），所述竖向支撑架（102）设于安装基板（101）的下方，所述限位板（103）设于安装基板（101）的上方，所述腔体支座（2）设于安装基板（101）上，并置于限位板（103）的内侧。

7.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体支座（2）包括一组侧向支撑架（21）和一组横向支撑架（22），所述侧向支撑架（21）相对设置，所述横向支撑架（22）设于两侧向支撑架（21）之间。

8.根据权利要求7所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述侧向支撑架（21）呈2字形，其包括上连接板、中部连接板、下连接板，所述上连接板和下连接板设于中部连接板的上、下两端，且两者呈反向设置，所述上连接板远离中部连接板的一侧设有侧板。

9.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体支架（3）包括上固定架（31）、侧壁支架（32）和下固定架（33），所述上固定架（31）和下固定架（33）设于侧壁支架（32）的上、下两侧，所述上固定架（31）通过螺栓与腔体（4）连接，所述下固定架（33）与侧向支撑架（21）固定连接，且所述上固定架（31）与侧壁支架（32）呈倾斜状设置，所述上固定架（31）与腔体（4）相匹配。

10.根据权利要求1所述的高精度、稳定型晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述电机连接架（51）两端的下方设有安装板（52），所述安装板（52）与侧向支撑架（21）中的上连接板连接，且两者之间设有缓冲橡胶（53）。