[实用新型]一种高稳定性硅压阻传感器芯片

摘要

本实用新型公开了一种高稳定性硅压阻传感器芯片，具体涉及传感器芯片领域，包括传感器芯片，传感器芯片的顶部活动连接有对冲结构，对冲结构包括对冲盘，对冲盘的底部固定连接有柔性圆环，柔性圆环的底部固定连接有连接台体，对冲盘的内部卡接有三个支杆，支杆的底部固定连接有硅杯，硅杯的内部设置有硅膜片，对冲盘的一侧开设有通槽，通槽的内部活动连接有充油管，充油管的底部固定连接有基体，对冲盘的顶部设置有波纹膜片，本实用新型通过本实用新型通过设有对冲盘、柔性圆环、连接台体，并在其所形成的内腔的内部充有对冲介质，通过对冲介质将内能消耗在对冲盘与连接台体之间，有利于减小所测压力的误差，保证精确性。