[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括外壳，所述外壳的上表面中部固接有斗状套，所述斗状套的内部设有的吸风管，所述外壳的内部安装有用以带动吸风管升降的升降结构，所述外壳上设有用以从吸风管内部抽风的吸风结构，所述吸风结构包括：所述两个吸风管之间连接有连接管，所述外壳的上表面安装有负压风机，负压风机与连接管之间连接有连接软管，本实用新型中设置了吸风管和斗状套，吸风管能够在竖直方向上将晶圆定位住，斗状套能够在水平方向上将晶圆定位住，保证晶圆在被输送的过程中能够较为稳定，本实用新型晶圆在斗状套的内部上下移动时，为连续移动，所以斗状套可适应任何一种尺寸的晶圆。