[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构

权利要求书

1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：包括外壳(5)，所述外壳(5)的上表面中部固接有斗状套(8)，所述斗状套(8)的内部设有的吸风管(11)，所述外壳(5)的内部安装有用以带动吸风管(11)升降的升降结构，所述外壳(5)上设有用以从吸风管(11)内部抽风的吸风结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：还包括左右驱动结构，所述左右驱动结构驱动外壳(5)左右运动，所述左右驱动结构包括单向丝杆(2)，单向丝杆(2)上螺纹连接有第一螺母(4)，所述外壳(5)固接在第一螺母(4)的上表面。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述单向丝杆(2)的下方设有第一导向杆(3)，且第一导向杆(3)穿过第一螺母(4)，所述单向丝杆(2)的一端设有用以驱动单向丝杆(2)转动的第一电机(1)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风管(11)的下端固接有托盘(13)，所述升降结构包括转动安装在外壳(5)内部的双向丝杆(15)，双向丝杆(15)上对称螺纹连接有第二螺母(17)，第二螺母(17)与托盘(13)的对应侧之间铰接有调节杆(16)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述外壳(5)的外部一侧安装有第二电机(6)，第二电机(6)驱动双向丝杆(15)转动。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述外壳(5)的内部下方安装有第二导向杆，且第二导向杆穿过第二螺母(17)。

7.根据权利要求4所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述托盘(13)的前后侧与双向丝杆(15)的内部下底面之间连接有导向杆(18)，且导向杆(18)为管套式连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风结构包括：所述两个吸风管(11)之间连接有连接管(9)，所述外壳(5)的上表面安装有负压风机(7)，负压风机(7)与连接管(9)之间连接有连接软管(12)。

9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述斗状套(8)的内壁上固接有橡胶垫(14)。

10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于：所述吸风管(11)的上端连通有吸盘(10)。