[实用新型]一种晶托表面平整度的检测装置

摘要

本实用新型属于检测装置技术领域，尤其为一种晶托表面平整度的检测装置，包括模组固定底板，所述模组固定底板的底部安装有前后移动模组，所述前后移动模组的一侧壁固定有前后移动伺服电机，所述前后移动模组的底部设置有左右移动伺服电机，所述左右移动伺服电机的输出轴连接有左右移动模组，所述左右移动模组的顶部与前后移动模组的底部固定连接。本实用新型通过设置前后移动模组和左右移动模组，使激光检测仪能够进行前后、左右移动，方便了对晶托进行检测，通过设置移载升降气缸和移载前后移动气缸，当检测晶托被检测出异常后，可以使被检测出的异常晶托自动放回流水线上，不会伴随无异常的晶托进入下一环节。