[实用新型]一种晶托表面平整度的检测装置

说明书

本实用新型属于检测装置技术领域，尤其为一种晶托表面平整度的检测装置，包括模组固定底板，所述模组固定底板的底部安装有前后移动模组，所述前后移动模组的一侧壁固定有前后移动伺服电机，所述前后移动模组的底部设置有左右移动伺服电机，所述左右移动伺服电机的输出轴连接有左右移动模组，所述左右移动模组的顶部与前后移动模组的底部固定连接。本实用新型通过设置前后移动模组和左右移动模组，使激光检测仪能够进行前后、左右移动，方便了对晶托进行检测，通过设置移载升降气缸和移载前后移动气缸，当检测晶托被检测出异常后，可以使被检测出的异常晶托自动放回流水线上，不会伴随无异常的晶托进入下一环节。

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种晶托表面平整度的检测装置。

背景技术

晶托是由大量微观物质单位按照一定规则有序排列的结构，晶托可以从结构单位的大小来研究判断排列规则和晶托的形态，晶托按其结构粒子和作用力的不同可分为离子晶托、原子晶托、分子晶托、和金属晶托，晶托具有整齐规则的几何外形、固定熔点、和各向异性的固态物质，是物质存在的一种基本形式。

当晶托生产成型后，需要对晶托表面的平整度进行检测，但目前的检测装置一般采用固定的方式对晶托进行检测，当对一些较大的晶托进行检测时，可能需要多次进行检测，检测比较不便，同时目前的检测装置检测出异常的晶托后不具备使使晶托自动放回流水线上的功能，因此我们提出了一种晶托表面平整度的检测装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶托表面平整度的检测装置，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种晶托表面平整度的检测装置，包括模组固定底板，所述模组固定底板的底部安装有前后移动模组，所述前后移动模组的一侧壁固定有前后移动伺服电机，所述前后移动模组的底部设置有左右移动伺服电机，所述左右移动伺服电机的输出轴连接有左右移动模组，所述左右移动模组的顶部与前后移动模组的底部固定连接，所述模组固定底板的一侧对称设置有两个移载升降气缸，两个所述移载升降气缸的之间设置有移载前后移动气缸，所述左右移动模组的底部安装有用于晶托检测用的激光检测仪。

进一步地，所述左右移动伺服电机上安装有用于支撑线缆的软管。

进一步地，所述左右移动伺服电机上固定有限位的L型挡板。

进一步地，所述前后移动伺服电机与前后移动模组通过螺栓固定连接。

进一步地，所述移载前后移动气缸的两侧设置有导向杆。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶托表面平整度的检测装置，具备以下有益效果：

1、本实用新型，通过设置模组固定底板、前后移动模组、前后移动伺服电机、左右移动伺服电机和左右移动模组，使激光检测仪能够进行前后、左右移动，方便了对晶托进行检测，使晶托检测的更为全面。

2、本实用新型，通过设置移载升降气缸和移载前后移动气缸，当检测晶托被检测出异常之后，可以使被检测出的异常晶托重新放置回流水线上，不会伴随无异常的晶托进入下一环节。

附图说明

图1为本实用新型第一结构示意图；

图2为本实用新型第二结构示意图。

图中：1、模组固定底板；2、前后移动模组；3、前后移动伺服电机；4、左右移动伺服电机；5、左右移动模组；6、移载升降气缸；7、移载前后移动气缸；8、激光检测仪。

具体实施方式