[实用新型]一种精密双轴旋转摆动位移平台

摘要

本实用新型公开了一种精密双轴旋转摆动位移平台，属于样品承载平台技术领域，包括平台壳体、载物台、旋转平台、摆动装置和旋转运动装置，旋转运动装置安装于平台壳体底部，旋转平台设置于平台壳体内，在旋转平台上固定安装摆动装置，旋转运动装置的旋转端连接于旋转平台以带动旋转平台旋转；摆动装置包括弧形滑轨、滑轨连接件和第一驱动机构，滑动连接件设置于弧形滑轨的外部并与其滑槽匹配安装，载物台固定安装于滑动连接件的顶部，第一驱动机构设置于弧形滑轨的一侧，第一驱动机构驱动滑动连接件沿弧形滑轨滑动以带动载物台同步摆动。本实用新型实现了位移平台的高精度旋转和摆动，可以与各种高精仪器配合使用，有较强的实用性。