[实用新型]一种半导体器件工艺的电解电极接触装置有效
| 申请号： | 202120810094.4 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214881882U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张婷婷;范晓波;乔旭 | 申请（专利权）人： | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/10;C25D17/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体器件工艺的电解电极接触装置，包括阳极电极接触端和阴极电极接触端，所述阳极接触端包括工作台面、电极固定座、电极提升机构、电极安装支杆、电极接线柱、阳极石墨电极，所述阴极接触端包括石英器皿、阴极石墨电极、阴极接线柱、电极固定卡子，本实用新型适用于半导体器件工艺生产中的电解工艺中，可以解放操作人员的手，消除安全隐患，且此装置可以多个同时并联在一台直流电源上，同时电解多个硅片，提高工作效率，高效安全的完成工艺操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 工艺 电解 电极 接触 装置 | ||
【主权项】：
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