[实用新型]一种固态前驱体的封装容器

摘要

本实用新型涉及一种固态前驱体的封装容器，包括瓶体、进气管、出气管，所述进气管延伸至所述瓶体的腔体顶部与瓶腔连通，所述出气管延伸至瓶体的腔体底部与瓶腔连通，其中，容器还包括喷淋扩散组件，喷淋扩散组件设置在瓶体内部，其中，喷淋扩散组件包括安装座、喷淋头壳体、导气装置及挡板，其中，档板设置在喷淋头壳体的下方，安装座设置在喷淋头壳体上方并与喷淋头壳体一体成型，导气装置一端通过安装座与进气管连接，另一端穿过安装座并朝向档板所在位置的方向延伸于档板上方，喷淋头壳体上还设置有若干通孔。本实用新型的封装容器，能够增大载气与前驱体的接触面积，进一步稳定瓶体内的前驱体蒸气压，提高气相沉积工艺的稳定性同时节约成本。