[实用新型]一种固态前驱体的封装容器

权利要求书

1.一种固态前驱体的封装容器，所述容器包括瓶体、进气管、出气管，所述进气管延伸至所述瓶体的腔体顶部与瓶腔连通，所述出气管延伸至所述瓶体的腔体底部与腔体连通，其特征在于，所述容器还包括喷淋扩散组件，所述喷淋扩散组件设置在所述瓶体内部，其中，所述喷淋扩散组件包括安装座、喷淋头壳体、导气装置及挡板，其中，所述档板设置在所述喷淋头壳体的下方，所述安装座设置在所述喷淋头壳体上方并与所述喷淋头壳体一体成型，所述导气装置一端通过所述安装座与所述进气管连接，另一端穿过所述安装座并朝向档板所在位置的方向延伸于所述档板上方，所述喷淋头壳体上还设置有若干通孔。

2.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述封装容器还包括瓶盖，所述瓶盖设置在所述瓶体的顶部上方。

3.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述封装容器还包括加料装置，所述加料装置设置在所述瓶体的顶部上方。

4.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述档板还设置有凹槽，所述导气装置朝向所述挡板所在位置的方向延伸于所述凹槽上方。

5.根据权利要求4所述的封装容器，其特征在于，所述档板还设置有若干通孔，所述档板上通孔的截面面积大小相同或者不同或者按照远离所述档板中心的方向逐渐增大或者逐渐减小。

6.根据权利要求4所述的封装容器，其特征在于，所述档板还设置有若干通孔，所述档板上的通孔设置为均匀分布或非均匀分布。

7.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述导气装置朝向所述档板的一端设置有吹气口，所述吹气口的吹气截面面积与其另一端进气口的进气截面面积相同或者不同。

8.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述通孔的截面面积大小相同或者不同或者按照远离所述档板的方向逐渐增大或者逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的封装容器，其特征在于，所述通孔设置为均匀分布或非均匀分布。

10.根据权利要求1-9任一项所述的封装容器，其特征在于，所述封装容器还包括进气控制阀、出气控制阀、第一VCR接头及第二VCR接头，其中，所述进气控制阀设置在所述进气管上，所述出气控制阀设置在所述出气管上，所述第一VCR接头用于连接所述封装容器的前一道设备，所述第二VCR接头用于连接所述封装容器的后一道设备。