[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 202120737870.2 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN215050641U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 毛东旭;李真真;黄世昌;祝晓钊;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体用于容纳并加热蒸镀材料，所述坩埚本体上开设有加料口；加料组件，其设置在加料口以向所述坩埚本体进行加料；封堵组件，其设置在所述坩埚本体内；所述封堵组件包括堵头和与所述堵头连接的浮动部；所述浮动部浮动设置在所述蒸镀材料液面上，所述浮动部随着所述蒸镀材料的液位变化上下浮动以使得所述堵头堵住或打开所述加料口。其能够在蒸发源的蒸镀过程中向坩埚本体内自动加料，保持坩埚本体内液位的动态平衡，从而优化蒸镀制程，提高最终的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
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