[实用新型]一种蒸镀坩埚有效

专利信息
申请号: 202120737870.2 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN215050641U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 毛东旭;李真真;黄世昌;祝晓钊;廖良生 申请(专利权)人: 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚
【权利要求书】:

1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:

坩埚本体,所述坩埚本体用于容纳并加热蒸镀材料,所述坩埚本体上开设有加料口;

加料组件,其设置在加料口以向所述坩埚本体进行加料;

封堵组件,其设置在所述坩埚本体内;所述封堵组件包括堵头和与所述堵头连接的浮动部;所述浮动部浮动设置在所述蒸镀材料液面上,所述浮动部随着所述蒸镀材料的液位变化上下浮动以使得所述堵头堵住或打开所述加料口。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述浮动部包括漂浮在蒸镀材料液面上的浮盖,所述浮盖上均匀开设有通孔。

3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,还包括设置在所述坩埚本体内的限位组件,所述限位组件对所述封堵组件进行限位,使得所述堵头的最大高度等于所述加料口的高度。

4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述限位组件包括第一连杆和第二连杆;所述第一连杆与所述封堵组件连接,所述第二连杆固定设置在所述坩埚本体内,所述第一连杆与所述第二连杆活动连接,所述封堵组件带动所述第一连杆相对于所述第二连杆上下移动。

5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述第一连杆上开设有滑槽,所述第二连杆的顶部凸出设置有滑块;所述滑块滑动设置在所述滑槽内,所述第二连杆对所述第一连杆的移动进行限位。

6.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述加料组件包括加料仓和存料管,所述加料仓的一端通过存料管与所述加料口连通。

7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述加料仓上设置有第一加热装置,所述第一加热装置用于预熔加料仓内的蒸镀材料。

8.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述存料管上设置有第二加热装置,所述第二加热装置用于加热所述存料管内的蒸镀材料以使得所述存料管内的蒸镀材料温度与所述坩埚本体内蒸镀材料的温度一致。

9.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述加料仓内的液位高度高于所述坩埚本体内的液位高度。

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