[实用新型]一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具有效
| 申请号： | 202120723894.2 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN214407915U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李佳奇 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具包括夹具本体和设置在所述夹具本体上的连接件；所述夹具本体为与背板结构相适应的圆环罩；所述连接件为与背板进水口或出水口贯通的中空管。本实用新型实现了氦质谱检漏仪的波纹管与背板进出水口之间的间接连接，进而实现了溅射靶材的氦泄露检测，提升了检测精度，避免了检测过程中出现漏气现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 泄露 检测 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120723894.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于多传感器的模切智能定位装置
- 下一篇：一种激光器水冷底座的摩擦焊结构
