[实用新型]一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具

说明书

本实用新型提供了一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具包括夹具本体和设置在所述夹具本体上的连接件；所述夹具本体为与背板结构相适应的圆环罩；所述连接件为与背板进水口或出水口贯通的中空管。本实用新型实现了氦质谱检漏仪的波纹管与背板进出水口之间的间接连接，进而实现了溅射靶材的氦泄露检测，提升了检测精度，避免了检测过程中出现漏气现象。

技术领域

本实用新型属于靶材检测技术领域，涉及一种夹具，尤其涉及一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具。

背景技术

在磁控溅射镀膜过程中，为提高传导热量的效率，通常会在背板的内部设置水冷循环通道。由于这种通道一般是将两片各自设置有部分通道的金属板焊接成一体，因此焊接过程中若是出现裂缝，极易导致靶材在溅射环节出现漏水现象，降低散热效果的同时造成较大的安全隐患。

基于上述问题，靶材在投入使用之前，必须针对背板的水冷循环通道进行裂缝检测。早期的裂缝检测方法是水压检测法，检测焊点附近是否出现漏水现象。然而由于这种方法引入了水分，检测完成后需对背板进行烘干，工序较为繁琐且较高水压易造成背板变形。

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最为普遍的检漏仪器。然而氦质谱检漏仪在检测靶材抽真空时需要把一根用于抽气的波纹管连接背板上的进出水口，由于这种波纹管与进出水口的规格不相匹配，所以无法直接相连，进而难以实现溅射靶材的氦泄露检测。

由此可见，如何提供一种夹具，实现氦质谱检漏仪的波纹管与背板进出水口之间的间接连接，进而实现溅射靶材的氦泄露检测，提升检测精度，避免检测过程中出现漏气现象，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具实现了氦质谱检漏仪的波纹管与背板进出水口之间的间接连接，进而实现了溅射靶材的氦泄露检测，提升了检测精度，避免了检测过程中出现漏气现象。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种溅射靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具包括夹具本体和设置在所述夹具本体上的连接件。

所述夹具本体为与背板结构相适应的圆环罩。

所述连接件为与背板进水口或出水口贯通的中空管。

本实用新型中，所述夹具本体固定在背板的表面，起到密封背板进出水口的目的，避免了在检测过程中背板进出水口位置发生漏气现象，从而提升了检测精度；所述连接件用于连接所述夹具本体与氦质谱检漏仪的波纹管，实现了波纹管与背板进出水口之间的间接连接，进而实现了溅射靶材的氦泄露检测。此外，本实用新型提供的氦泄露检测用夹具结构简单，易于加工，可操作性强，降低了生产成本和操作难度。

优选地，所述夹具本体靠近背板的一侧表面均匀设置有8-16个镂空，例如可以是8个、9个、10个、11个、12个、13个、14个、15个或16个。

优选地，所述镂空的横截面形状包括矩形、半圆形或三角形中的任意一种。

本实用新型中，所述镂空的横截面形状为镂空在夹具本体圆周切面上的正投影形状。

本实用新型中，所述镂空的数量和形状可随背板焊接点的具体情况而定，便于在检测过程中氦气可吹拂至夹具之外。

优选地，所述夹具本体的表面均匀设置有6-10个螺纹孔，例如可以是6个、7个、8个、9个或10个。

本实用新型中，所述螺纹孔用于安装螺丝以实现夹具本体和背板之间的固定连接，防止在检测过程中夹具本体与背板之间的松动而导致漏气现象。