[实用新型]一种具有可变生长空间的晶体生长装置有效
| 申请号： | 202120712333.2 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN216550817U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王书杰;孙聂枫;史艳磊;邵会民;徐森锋;付莉杰;王阳;李晓岚;欧欣;宋瑞良;刘惠生;孙同年 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 聂旭中 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种具有可变生长空间的晶体生长装置，属于单晶制备领域，具体涉及晶体生长装置，特别涉及在晶体生长过程中根据晶体尺寸动态控制生长空间的晶体生长装置。包括主体立柱，设置在主体立柱之间的主炉体，主炉体内部有坩埚及坩埚加热、支撑结构，坩埚上方有籽晶杆及籽晶杆驱动装置，主炉体为开放的圆筒，通过主炉体驱动电机和主驱动臂定位在主体立柱上；设置与主炉体配套的可移动装置，可移动装置通过上下运动，实现晶体生长空间的变化控制。采用本装置，在晶体生长的初期，生长空间小，热场对流小，容易进行晶体生长的引晶和放肩过程；待晶体长大后，炉体开始随着晶体的长大而伸长，晶体本身的降温会保证晶体生长的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 可变 生长 空间 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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