[实用新型]一种具有可变生长空间的晶体生长装置

权利要求书

1.一种具有可变生长空间的晶体生长装置，包括2个或2个以上的主体立柱（15），设置在主体立柱（15）之间、位于支撑台（5）上的主炉体（1），主炉体（1）内部有坩埚（24）及坩埚加热、支撑结构，坩埚（24）上方有籽晶杆（6）及籽晶杆驱动装置；

其特征在于：主炉体（1）为开放的圆筒，通过主炉体驱动电机（19）和主驱动臂（19-1）定位在主体立柱（15）上；设置与主炉体（1）配套的可移动装置，可移动装置通过上下运动，实现晶体生长空间的变化控制。

2.根据权利要求1所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，所述可移动装置为在主炉体（1）内侧或外侧设置的可移动炉体，可移动炉体通过驱动电机和驱动臂设置在主体立柱（15）上；最内侧或最外侧的可移动炉体顶部密封，其它可移动炉体为开放的圆筒，籽晶杆（6）及籽晶杆驱动装置设置在顶部密封的可移动炉体上。

3.根据权利要求2所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，所述可移动炉体设置1-4个。

4.根据权利要求2所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，所述可移动炉体的驱动臂设置在可移动炉体的顶端。

5.根据权利要求2所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，相邻可移动炉体的内径和外径相匹配，主炉体（1）与相邻的可移动炉体之间、可移动炉体之间的间隙为0.1-0.5mm。

6.根据权利要求5所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，主炉体（1）和可移动炉体内部设置密封槽（33），密封槽（33）里有密封圈（34）。

7.根据权利要求2至权利要求6任一所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，与主炉体（1）和可移动炉体配套的驱动电机和驱动臂至少设置2套。

8.根据权利要求1所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，所述装置中还包括坩埚加热结构、坩埚支撑结构、穿过支撑台（5）至主炉体（1）的真空管道（12）和充放气管道（13）；所述坩埚加热结构包括保温套（21）、主加热器（22）、辅助加热器（23）；所述坩埚支撑结构包括穿过支撑台（5）的坩埚杆（9）、连接坩埚杆（9）的坩埚杆升降电机（10）和坩埚杆转动电机（11）。

9.根据权利要求1所述的具有可变生长空间的晶体生长装置，其特征在于，所述装置还包括底盘（20），主体立柱（15）通过立柱电机（20-1）设置在底盘（20）上。