[实用新型]用于激光器与单模硅波导间的耦合结构有效
申请号: | 202120650362.0 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN214845911U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 宋若谷;蔡艳;汪巍;余明斌 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42;G02B6/122;G02B6/12 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于激光器与单模硅波导间的耦合结构,耦合结构包括:直波导;锥形波导,锥形波导的输入端连接于直波导;单模硅波导,连接于锥形波导的输出端;直波导与锥形波导包括交替层叠的二氧化硅层及氮化硅层,交替层叠的次数为2次以上,单模硅波导包括插入至锥形波导中的第一硅波导段以及凸出于锥形波导的第二硅波导段,第一硅波导段被锥形波导最下层的二氧化硅层包裹。本实用新型可以用于实现大尺寸差下激光器/波导与波导间的光耦合,具有耦合效率高,传输损耗小,结构简单,便于加工等优点,在硅光集成领域存在诸多潜在的应用。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光器 单模 波导 耦合 结构 | ||
【主权项】:
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