[实用新型]一种稀薄气体供气装置有效
| 申请号： | 202120618064.3 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN214619021U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 孟祥雨;赵波;郭智;曹杰峰;陈明;王勇;邰仁忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/00;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种稀薄气体供气装置，其包括真空供气系统，所述真空供气系统包括沿气体流动方向通过真空管道连接依次连接的高纯度的供气瓶、双级减压阀、针阀、电动微漏阀和真空差分部件，所述真空差分部件与腔体连接。本实用新型的稀薄气体供气装置，其真空供气系统采用依次连接的双级减压阀、针阀、电动微漏阀和真空差分系统，真空差分部件与腔体连接，差分系统能够进一步减小进入光学镜箱的气体流量，结合电动微漏阀可实现高精度流量控制，从而可以精准控制腔体内的气体气压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀薄 气体 供气 装置 | ||
【主权项】：
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