[实用新型]一种稀薄气体供气装置

权利要求书

1.一种稀薄气体供气装置，其特征在于，其包括真空供气系统，所述真空供气系统包括沿气体流动方向通过真空管道连接依次连接的高纯度的供气瓶、双级减压阀、针阀、电动微漏阀和真空差分部件，所述真空差分部件与腔体连接。

2.根据权利要求1所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述稀薄气体供气装置为软X射线碳污染自动清洗装置，所述真空差分部件与一同步辐射光束线的光学镜箱连接；所述供气瓶具有高压气体，该高压气体为气压为7.5×10⁴Torr，且纯度至少为99.9995％的高压氧气。

3.根据权利要求2所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述光学镜箱的气压在1×10^-9到1×10^-8Torr之间。

4.根据权利要求1所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述供气瓶具有高压气体，所述高压气体是氢气、甲烷、二氧化碳、氦气、氮气、氖气、硫化氢和四硫化碳中的一种。

5.根据权利要求2或4所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述双级减压阀设置为把高压气体的气压降到750Torr；所述针阀设置为手动控制气路开关；所述电动微漏阀设置为精确控制气体流量，使真空差分部件的进气端气压为1×10^-9Torr到1×10^-7Torr；真空差分部件的出气端气压为1×10^-10Torr到1×10^-8Torr。

6.根据权利要求1所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述真空差分部件包括一个连接电动微漏阀和腔体的差分腔体、安置于所述差分腔体上的第一真空计、与所述第一真空计连接的第一真空计控制器以及内置的第一离子泵。

7.根据权利要求1所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述针阀和电动微漏阀之间还设有一气动阀；且所述稀薄气体供气装置还包括安全联锁系统，该安全联锁系统包括通过信号线依次连接的第二真空计、第二真空计控制器、继电器和电磁阀，所述第二真空计安置在所述腔体上，电磁阀与所述气动阀连接；所述第二真空计控制器设置为读取第二真空计测量的真空值并设有一真空阈值，当腔体的真空值大于真空阈值时，第二真空计控制器产生逻辑开关信号并传给继电器；所述继电器设置为根据逻辑开关信号向电磁阀输出相应的开关控制信号。

8.根据权利要求7所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述继电器与一开关电源连接并与一危险报警装置连接，所述危险报警装置包括危险报警灯和危险报警发声装置。

9.根据权利要求8所述的稀薄气体供气装置，其特征在于，所述稀薄气体供气装置还包括远程控制系统，所述远程控制系统包括电动微漏阀控制模块和计算机，电动微漏阀控制模块为电动微漏阀的电机；所述电动微漏阀控制模块与所述开关电源连接，并且与第二真空计控制器连接；所述电动微漏阀连接第二真空计和电动微漏阀控制模块，且计算机直接与所述电动微漏阀、所述电动微漏阀控制模块连接。