[实用新型]一种超低动态阻抗双向TVS有效

专利信息
申请号: 202120615227.2 申请日: 2021-03-26
公开(公告)号: CN214313218U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 吴昊;陆亚斌;王成 申请(专利权)人: 傲威半导体无锡有限公司
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329
代理公司: 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 代理人: 衣然
地址: 214000 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提出一种超低动态阻抗双向TVS,该超低动态阻抗双向TVS包括衬底层及基区层,衬底层为第一导电类型,基区层为第二导电类型,并形成于衬底层上;还包括浅槽结构,浅槽结构形成于基区层中,其深度小于基区层的深度,在浅槽结构两侧形成第一导电类型的有源区,浅槽结构具有复数个,各浅槽结构之间留有间隔,形成梳齿式布局;还包括浅槽填充层,浅槽填充层形成于浅槽结构内部;还包括电极,电极采用表面多层金属化引出。该TVS采用双向梳齿式布局,既节省了表面面积,又降低了动态阻抗,双向TVS结构动态阻抗低至毫欧姆数量级。
搜索关键词: 一种 动态 阻抗 双向 tvs
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