[实用新型]一种超低动态阻抗双向TVS有效
| 申请号: | 202120615227.2 | 申请日: | 2021-03-26 |
| 公开(公告)号: | CN214313218U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
| 发明(设计)人: | 吴昊;陆亚斌;王成 | 申请(专利权)人: | 傲威半导体无锡有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司: | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人: | 衣然 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型提出一种超低动态阻抗双向TVS,该超低动态阻抗双向TVS包括衬底层及基区层,衬底层为第一导电类型,基区层为第二导电类型,并形成于衬底层上;还包括浅槽结构,浅槽结构形成于基区层中,其深度小于基区层的深度,在浅槽结构两侧形成第一导电类型的有源区,浅槽结构具有复数个,各浅槽结构之间留有间隔,形成梳齿式布局;还包括浅槽填充层,浅槽填充层形成于浅槽结构内部;还包括电极,电极采用表面多层金属化引出。该TVS采用双向梳齿式布局,既节省了表面面积,又降低了动态阻抗,双向TVS结构动态阻抗低至毫欧姆数量级。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 动态 阻抗 双向 tvs | ||
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