[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 202120592648.8 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN214445530U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李洪爱 | 申请（专利权）人： | 霸州市云谷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/00;B24B55/00 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人： | 梁珺 |
| 地址： | 065000 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨装置，所述研磨装置包括：载台，所述载台用于承载待研磨件；气道组件，所述气道组件设置于所述载台的上侧或者下侧；以及压力装置，所述压力装置与所述气道组件连通以向所述气道组件提供压力源，从而使得所述气道组件形成真空吸附通道或者吹气通道；其中，所述真空吸附通道或者所述吹气通道用于移除所述待研磨件周边的研磨液。通过相互连通的压力装置和气道组件，在待研磨件的边缘处形成真空吸附力或者高压风幕以移除待研磨件的边缘处多于的研磨液。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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