[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 202120592648.8 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN214445530U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李洪爱 | 申请（专利权）人： | 霸州市云谷电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/00;B24B55/00 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人： | 梁珺 |
| 地址： | 065000 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
1.一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包括：
载台，所述载台用于承载待研磨件；
气道组件，所述气道组件设置于所述载台的上侧或者下侧；以及
压力装置，所述压力装置与所述气道组件连通以向所述气道组件提供压力源，从而使得所述气道组件形成真空吸附通道或者吹气通道；
其中，所述真空吸附通道或者所述吹气通道用于移除所述待研磨件周边的研磨液。
2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还包括研磨头，所述研磨头和所述气道组件分别位于所述载台相背的上侧和下侧，或者，所述研磨头和所述气道组件共同位于所述载台的上侧或者下侧。
3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述气道组件围绕所述待研磨件的周边设置。
4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述待研磨件放置于所述载台上，所述待研磨件的边缘突出于所述载台的边缘。
5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述气道组件包括壳体和位于壳体内部的气流通道，所述气流通道连通所述压力装置。
6.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述气流通道中气流的流出方向或者所述气流通道中气流的输入方向分别垂直于所述载台的承载面。
7.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述气流通道中气流的流出方向或者所述气流通道中气流的输入方向分别与所述载台的承载面之间的夹角为锐角。
8.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述压力装置包括第一管路、第二管路以及阀门，所述阀门控制所述第一管路和所述第二管路的其中之一和所述气道组件的所述气流通道连通。
9.如权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，还包括枢转机构，所述枢转结构连接所述壳体。
10.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述待研磨件为显示模组，所述显示模组包括相互贴合的盖板和显示屏体，其中，所述显示屏体靠近并固定于所述载台上。
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