[实用新型]在线臭氧分析装置有效
| 申请号： | 202120584878.X | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN214585058U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王如宝;郭晓霞;刘正铎;江仁林 | 申请（专利权）人： | 武汉理通微芬科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了在线臭氧分析装置，包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。本实用新型的在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 臭氧 分析 装置 | ||
【主权项】：
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