[实用新型]在线臭氧分析装置

说明书

本实用新型涉及了在线臭氧分析装置，包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。本实用新型的在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体洁净室环境监测领域，特别是涉及在线臭氧分析装置。

背景技术

随着半导体行业的发展，对半导体产品的要求越来越高，臭氧含量的超标都会影响到半导体产品的质量，所以测量手套箱内的臭氧含量十分重要，目前，市场上的臭氧分析产品具有测量精度不高，稳定性不好，响应慢等缺点。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中ppb级臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：在线臭氧分析装置，包括机箱；所述机箱的内部安装有主板、臭氧传感器、气泵、洗涤装置；所述机箱具有后面板；所述后面板上设置有进气端口、出气端口、网口航插；所述进气端口通过管路与气泵的进气端连通；气泵的出气端与洗涤装置的进气端连通；洗涤装置的出气端与臭氧传感器的进气端连通；臭氧传感器的出气端与出气端口连通；所述主板用于采集臭氧传感器的检测信号并处理后，得到臭氧的含量的检测数据；所述网口航插与主板电连接，用于实现主板的远程连接。

进一步地，所述后面板上还设置有USB航插，USB航插与主板电连接，用于通过USB航插下载主板的检测数据。

进一步地，所述后面板还安装有三合一开关；所述机箱内还安装有开关电源；所述三合一开关用于连接外部电源220V进线，并通过开关电源转换为12V直流电，为臭氧传感器和主板供电。

进一步地，所述机箱的底部安装有底板；所述主板、开关电源固定在底板上。

进一步地，所述后面板还安装有风扇；所述风扇用于将机箱内的工作热量从机箱中导出。

进一步地，所述机箱具有前面板；所述面板上安装有显示屏，显示屏与主板电连接。

进一步地，所述面板在靠近左右两端的位置分别设置有把手。

本实用新型的有益效果：本实用新型的在线臭氧分析装置，能实现在线实时监测半导体洁净室手套箱环境中臭氧含量的变化，具有测量时间快，稳定性好，无需要标定，能实现网络控制等优点。

附图说明

图1为实施例的在线臭氧分析装置的立体示意图；

图2为实施例的在线臭氧分析装置的另一角度的立体示意图；

图3为实施例的在线臭氧分析装置的内部结构的立体示意图。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不对本实用新型的保护范围构成限定。

实施例