[实用新型]一种增强型线性离子源有效
| 申请号： | 202120574510.5 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN214797325U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王叔晖;沈平;孟庆学 | 申请（专利权）人： | 法德（浙江）机械科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 郭曼 |
| 地址： | 313100 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种增强型线性离子源，包括阴极外框和阳极，所述阳极的外侧设置有屏蔽罩，且所述阳极和屏蔽罩均位于阴极外框内部，所述阳极及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框，且所述绝缘支柱上套置有调节器件，所述调节器件位于阴极外框的下方，所述调节器件同时与绝缘支柱和阴极外框连接，所述调节器件包括齿轮组和多个连接杆，所述多个连接杆穿过齿轮组且其顶端卡扣安装在环形槽内，所述阴极外框的下方设置有外壳，所述调节器件位于外壳内部，本实用新型解决离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 线性 离子源 | ||
【主权项】：
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