[实用新型]一种增强型线性离子源

说明书

本实用新型公开了一种增强型线性离子源，包括阴极外框和阳极，所述阳极的外侧设置有屏蔽罩，且所述阳极和屏蔽罩均位于阴极外框内部，所述阳极及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框，且所述绝缘支柱上套置有调节器件，所述调节器件位于阴极外框的下方，所述调节器件同时与绝缘支柱和阴极外框连接，所述调节器件包括齿轮组和多个连接杆，所述多个连接杆穿过齿轮组且其顶端卡扣安装在环形槽内，所述阴极外框的下方设置有外壳，所述调节器件位于外壳内部，本实用新型解决离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片的问题。

技术领域

本实用新型涉及离子源技术领域，具体为一种增强型线性离子源。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，其在离子刻蚀和离子清洗方面使用比较广泛。

现有公开号为CN102254775B的中国专利，其公开了现有公开号为CN102254775B的中国专利，其公开了一种适用于离子束清洗，离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和阴极顶板内环之间开设的环状槽构成；中央磁钢和外围磁钢分别设在阴极外框内部的中间和外围，阴极顶板、阴极外框、中央磁钢和外围磁钢形成一个封闭的环形放电槽，阳极通过绝缘支柱支撑在环形放电槽中，位于环状离子束引出口下方，阳极上表面与离子引出口距离在5mm以上。

但是上述离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片，为了解决这一问题，本实用新型发明人设计了本产品。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种增强型线性离子源，旨在改善离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种增强型线性离子源，包括阴极外框和阳极，阳极的外侧设置有屏蔽罩，且阳极和屏蔽罩均位于阴极外框内部，阳极及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框，且绝缘支柱上套置有调节器件，调节器件位于阴极外框的下方，调节器件同时与绝缘支柱和阴极外框连接，调节器件包括齿轮组和多个连接杆，多个连接杆穿过齿轮组且其顶端卡扣安装在环形槽内，阴极外框的下方设置有外壳，调节器件位于外壳内部，本实用新型的设置便于提供一种新型的线性离子源，实现调节阳极的功能，进而根据需要调整阳极的高度，改变阳极和阴极顶板的间距，以便为清理积累的镀膜碎片提供便利，且便于根据不同工作需求调整本实用新型的状态，调节器件的设置便于通过自身的转动的调整阳极及其屏蔽罩的高度，齿轮组的设置便于通过链条连接，通过外力的作用带动齿轮组的转动，进而调整阳极及其屏蔽罩的高度，连接杆的设置便于连接齿轮组和阴极外框，为齿轮组的转动提供支撑，外壳的设置便于隔离调节器件，防止其外力作用影响阳极及其屏蔽罩的调节效果，同时外壳的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。

进一步的，阴极外框外底面均匀的开设有穿孔，穿孔内侧设置有橡胶环垫，阴极外框的外底面在穿孔的侧边开设有环形槽，穿孔的设置便于为绝缘支柱的穿过提供必要通道，橡胶环垫的设置便于密封连接橡胶环垫和绝缘支柱，进而为气体介质提供密封空间，防止其泄露，环形槽的设置便于为连接杆的转轮的安装和移动提供空间，以便为齿轮组的转动提供稳定支撑。

进一步的，绝缘支柱的侧面设置有螺纹结构，绝缘支柱穿过橡胶环垫，螺纹结构的设置便于实现绝缘支柱与齿轮组的螺纹连接，进而通过齿轮组的转动带动阳极和屏蔽罩升降。

进一步的，外壳靠近调节器件的侧面的开设有安装槽，且外壳开设有多个凹槽，安装槽的设置便于为调节器件和链条的安装提供足够空间，凹槽的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。