[实用新型]电子束加热样品台有效
| 申请号: | 202120557417.3 | 申请日: | 2021-03-18 |
| 公开(公告)号: | CN214503108U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
| 发明(设计)人: | 艾金虎 | 申请(专利权)人: | 埃频(上海)仪器科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N1/44 | 分类号: | G01N1/44;C23C14/50;C23C16/48;C23C16/458 |
| 代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 李镝的 |
| 地址: | 201415 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种电子束加热样品台,包括:基座,其底部具有容置电子束发射装置的容置空间,所述容置空间上方具有正对样品承载装置的开口;所述容置空间内侧布置有陶瓷片,以使电子束发射装置发射的电子束由开口导出。 | ||
| 搜索关键词: | 电子束 加热 样品 | ||
【主权项】:
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