[实用新型]电子束加热样品台有效

专利信息
申请号: 202120557417.3 申请日: 2021-03-18
公开(公告)号: CN214503108U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 艾金虎 申请(专利权)人: 埃频(上海)仪器科技有限公司
主分类号: G01N1/44 分类号: G01N1/44;C23C14/50;C23C16/48;C23C16/458
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 李镝的
地址: 201415 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种电子束加热样品台,包括:基座,其底部具有容置电子束发射装置的容置空间,所述容置空间上方具有正对样品承载装置的开口;所述容置空间内侧布置有陶瓷片,以使电子束发射装置发射的电子束由开口导出。
搜索关键词: 电子束 加热 样品
【主权项】:
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