[实用新型]电子束加热样品台

说明书

本实用新型提供了一种电子束加热样品台，包括：基座，其底部具有容置电子束发射装置的容置空间，所述容置空间上方具有正对样品承载装置的开口；所述容置空间内侧布置有陶瓷片，以使电子束发射装置发射的电子束由开口导出。

技术领域

本实用新型涉及精密加工技术领域，特别涉及一种电子束加热样品台。

背景技术

在薄膜生长，以及样品处理的时候，经常需要将样品加热到较高的温度(如1500℃)。常用的辐射加热的方法为加热丝通电发热，通过辐射的方式将热量传递给需要加热的样品，将样品加热，现有技术的辐射加热无法达到1500℃这么高的温度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子束加热样品台，以解决现有的辐射加热无法达到样品加热所要求的温度的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种电子束加热样品台，包括：

基座，其底部具有容置电子束发射装置的容置空间，所述容置空间上方具有正对样品承载装置的开口；

所述容置空间内侧布置有陶瓷片，以使电子束发射装置发射的电子束由开口导出。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，还包括：

夹持工具，被布置在所述容置空间的两侧上方，所述夹持工具被配置为对样品承载装置进行夹持，以使样品承载装置与电子束发射装置相对布置；

底座，被配置支承基座；以及

屏蔽层，被布置在基座与底座之间，以使基座与底座彼此隔热和/或绝缘。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，所述基座、屏蔽层和底座依次面对面排布；

第一连接结构沿垂直于屏蔽层的方向贯穿基座、屏蔽层和底座，第一连接结构与所述基座、屏蔽层和底座均刚性连接，所述第一连接结构与所述底座之间具有绝缘垫片。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，所述容置空间包括背板本体和四个侧板本体，其中：

背板本体用于承载电子束发射装置，四个侧板本体布置在背板本体的四个边缘并将电子束发射装置围在中间；

所述容置空间内还布置有背板陶瓷片和至少两个侧板陶瓷片，所述背板陶瓷片布置在背板本体和电子束发射装置之间，每个所述侧板陶瓷片分别布置在一个侧板本体和电子束发射装置之间。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，两个相对的侧板本体上分别具有至少一凹槽，凹槽的位置两两相对，至少一个陶瓷棒的两端分别插入两个相对的凹槽中，所述陶瓷棒用于固定电子束发射装置。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，电子束发射装置为一根细长且弯曲呈多个连续“S”形的灯丝，

第一陶瓷棒与第二陶瓷棒沿垂直背板本体的方向堆叠并平行布置，形成第一夹持接口，第一夹持接口的两端分别插入两个相对的第一凹槽中，第一夹持接口与背板本体和侧板陶瓷片均平行；

第三陶瓷棒与第四陶瓷棒沿垂直背板本体的方向堆叠并平行布置，形成第二夹持接口，第二夹持接口的两端分别插入两个相对的第二凹槽中，第二夹持接口与背板本体和侧板陶瓷片均平行；

所述灯丝呈波纹状弯曲延伸在第一夹持接口和第二夹持接口之间；

灯丝的奇数次弯折处伸入第一夹持接口，由第一陶瓷棒与第二陶瓷棒夹持固定，灯丝的偶数次弯折处伸入第二夹持接口，由第三陶瓷棒与第四陶瓷棒夹持固定。

可选的，在所述的电子束加热样品台中，两个相对的侧板本体上分别具有一个穿过基座的通孔，一个陶瓷管贯穿于每个通孔中，灯丝穿入陶瓷管；