[实用新型]一种能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器有效
| 申请号： | 202120521179.0 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN215003984U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/143 | 分类号： | G01K1/143;G01K1/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决由于空心管长期处于真空镀膜机工作腔室内，镀膜用的金属粉末都会掉落在温度传感器的表面，最终影响温度传感器测量结果的问题，本实用新型提出一种能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，采用本实用新型的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，可以使得空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦产生的金属粉末掉落在容纳腔室的内部，不会掉落在温度计的表面，从而保证了测温的准确性；同时，将容纳腔室的底板设置成活动连接方式，并采用卡箍组件进行固定，这样可以方便及时出去金属粉末或者检修温度传感器，同时温度传感器置于空心管处，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 延长 使用寿命 测量 大盘 温度 传感器 | ||
【主权项】：
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