[实用新型]一种能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器

权利要求书

1.一种能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其中大盘(2)位于真空镀膜机工作腔室(1)的底部，且大盘(2)的上表面上设有一个或多个工件架(21)，大盘(2)的底部设有转轴，空心管(5)穿过真空镀膜机工作腔室(1)的底部，其中空心管(5)的上部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，空心管(5)的下部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的外部，转轴与空心管(5)的上部分固定连接，空心管(5)的下部分外围固定有齿轮(7)，齿轮(7)的外围包覆皮带轮(71)，皮带轮(71)的另外一侧穿过电机(72)的电机轴(721)，电机(72)的电机轴(721)可以带动皮带轮(71)旋转，从而带动空心管(5)旋转，从而带动大盘(2)旋转，温度传感器(3)位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，其特征在于：所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上；空心管(5)上设有第一通孔和第二通孔，第一通孔位于空心管(5)的上部，第二通孔位于空心管(5)的下部；第一通孔和第二通孔处各设有一个温度传感器(3)，两个温度传感器(3)串联，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)上的通孔进入空心管(5)内部后通过容纳腔室(6)连接到温度计(4)上。

2.如权利要求1所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其特征在于：容纳腔室(6)包括上部开口(61)、外螺纹、超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁和底板(62)，其中上部开口(61)嵌套在空心管(5)的内部，外螺纹与空心管(5)内部的内螺纹固定连接，使得容纳腔室(6)与空心管(5)固定连接，底板(62)与超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁底部连接。

3.如权利要求2所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其特征在于：所述的底板(62)与所述的超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁为分体结构，在XY轴平面的侧壁外部设有卡箍组件(63)。

4.如权利要求1所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其特征在于：在空心管(5)的外侧设有磁流体密封(51)，磁流体密封(51)的上表面固定在真空镀膜机工作腔室(1)的底板的下表面上。

5.如权利要求1所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其特征在于：在空心管(5)的外围固定有铜圈(8)，铜圈(8)与碳刷(81)接触。

6.如权利要求1所述的能够延长使用寿命的测量大盘内温度的传感器，其特征在于：在空心管(5)的外围还固定有转盘(9)，转盘(9)的边缘等距离设置多个开孔(91)，在转盘(9)的开孔(91)的上方设置有计数传感器(92)。