[实用新型]一种超构表面相位测试装置有效
| 申请号： | 202120484715.4 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214668572U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘敬伟;余慧康 | 申请（专利权）人： | 国科光芯(海宁)科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静玉 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超构表面相位测试装置，包括：光源模块、干涉模块以及接收模块，光源模块用于输出测试光束至干涉模块；干涉模块包括第一分束镜、第二分束镜、第一反射镜以及第二反射镜，干涉模块用于对反射式超构表面和透射式超构表面进行相位测试，得到干涉光束，输出至接收模块中，接收模块用于将接收的光束形成的测试干涉条纹与标准干涉条纹对比，计算得到待测超构表面的相位。通过实施本实用新型，设置由第一分束镜、第二分束镜、第一反射镜以及第二反射镜构成的干涉模块，当对不同类型待测超构表面进行相位测试时，只需要调整第一反射镜的角度，即可将相应的光路转换为不同超构表面的相位测试光路，光路简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 相位 测试 装置 | ||
【主权项】：
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