[实用新型]一种超构表面相位测试装置

权利要求书

1.一种超构表面相位测试装置，其特征在于，包括：光源模块、干涉模块以及接收模块，

所述光源模块用于输出测试光束至所述干涉模块；

所述干涉模块包括第一分束镜、第二分束镜、第一反射镜以及第二反射镜，

当待测超构表面为反射式超构表面时，所述第一分束镜用于将所述测试光束分为第一透射光束和第一反射光束，所述第一透射光束照射在待测超构表面上，被待测超构表面反射到第一分束镜上，所述第一反射光束照射在所述第一反射镜上，被所述第一反射镜反射到第一分束镜上，所述第一分束镜将被待测超构表面反射的光反射到所述接收模块中，所述第一分束镜将所述第一反射镜反射的光透射至所述接收模块中；

当待测超构表面为透射式超构表面时，所述第一分束镜用于将所述测试光束分为第一透射光束和第一反射光束，所述第一透射光束依次被待测超构表面、第二分束镜透射至所述接收模块中，所述第一反射光束依次被所述第一反射镜和所述第二反射镜反射到所述第二分束镜上，所述第二分束镜将第二反射镜反射的光反射至所述接收模块中；

所述接收模块用于将接收的光束形成的测试干涉条纹与标准干涉条纹对比，采用相位计算公式计算得到待测超构表面的相位。

2.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，待测超构表面包括样品区域和空白区域，所述样品区域具有超构表面单元结构，所述空白区域上没有超构表面单元结构，所述测试干涉条纹为光束照射在所述样品区域形成，所述标准干涉条纹为照射在空白区域形成。

3.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，当待测超构表面为反射式超构表面时，所述第一反射镜的反射面和所述第一透射光束传输方向平行，当待测超构表面为透射式超构表面时，所述第一反射镜的反射面和所述第一透射光束传输方向呈45度角。

4.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述光源模块包括：激光器、偏振控制器以及光纤准直器，所述激光器发出的光束依次经过所述偏振控制器以及所述光纤准直器输出。

5.根据权利要求4所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述激光器、偏振控制器以及光纤准直器之间采用光纤连接。

6.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述接收模块包括：电荷耦合器件和微处理器，所述电荷耦合器件用于接收光束形成的测试干涉条纹，所述微处理器用于将测试干涉条纹和标准干涉条纹对比，采用相位计算公式计算得到待测超构表面的相位。

7.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述第一分束镜和/或所述第二分束镜的分光比为1:1。

8.根据权利要求1所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述测试干涉条纹和所述标准干涉条纹为均匀分布的直条纹。

9.根据权利要求4所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，所述激光器为窄线宽波长可调节激光器。

10.根据权利要求1-9任一项所述的超构表面相位测试装置，其特征在于，还包括：光学平台，所述干涉模块固定在所述光学平台上。