[实用新型]一种掩膜板有效
申请号: | 202120477570.5 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN214991800U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 沈志昇 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;徐剑兵 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜板,所述掩膜板上设置有多个蒸镀通孔,且多个蒸镀通孔阵列排布于所述掩膜板上;颜色相同的相邻的多个子像素共用一个所述蒸镀通孔,且每个所述蒸镀通孔的形状与多个相同颜色子像素形成的形状相适配;所述蒸镀通孔用于供蒸镀材料穿过并沉积在子像素上,形成在多个颜色相同的所述子像素。区别于现有技术,上述技术方案将所述子像素的位置进行调换,在数量不变的情况下,可将相同颜色的所述子像素合并,此时可将所述掩膜板(FMM)上的所述蒸镀孔洞扩大,降低张网难度,且通过本所述掩膜板(FMM)通用的效果,可实现蒸镀工艺时R/G/B互相备份使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】:
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