[实用新型]一种掩膜板有效
申请号: | 202120477570.5 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN214991800U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 沈志昇 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;徐剑兵 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 | ||
本实用新型公开了一种掩膜板,所述掩膜板上设置有多个蒸镀通孔,且多个蒸镀通孔阵列排布于所述掩膜板上;颜色相同的相邻的多个子像素共用一个所述蒸镀通孔,且每个所述蒸镀通孔的形状与多个相同颜色子像素形成的形状相适配;所述蒸镀通孔用于供蒸镀材料穿过并沉积在子像素上,形成在多个颜色相同的所述子像素。区别于现有技术,上述技术方案将所述子像素的位置进行调换,在数量不变的情况下,可将相同颜色的所述子像素合并,此时可将所述掩膜板(FMM)上的所述蒸镀孔洞扩大,降低张网难度,且通过本所述掩膜板(FMM)通用的效果,可实现蒸镀工艺时R/G/B互相备份使用。
技术领域
本实用新型涉及掩膜板领域,尤其涉及一种掩膜板。
背景技术
OLED显示面板具有厚度薄,功耗低,可弯曲及柔性显示等优势,近年来成为下一代面板显示器的发展趋势。
现有的OLED面板是在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发,有机材料透过金属掩膜板(FMM)上开孔位置定义玻璃上形成薄膜位置,成膜位置需是基板上被指定的发光位置,基板的电流才能有效传入OLED器件发光,所以金属掩膜板开孔位置的精度极为重要。
PPI(Pixels per inch)表示每英寸对角线上拥有的像素(pixel)数目,当像素数量越多时,PPI越高,屏幕的解析度与清晰度也越好,这也是市面上所说的2K、4K屏幕等。在高PPI屏幕的制程过程中,金属掩膜板(FMM)的精度是极为关键的,在相同屏幕尺寸下,PPI越高,像素数目越多意味着每个像素的面积越小,那相对应的金属掩膜板(FMM)开孔尺寸也需要做小,且对位难度增大。在张网技术中,当金属掩膜条(sheet)的开孔尺寸小、数量多时,在两侧张力作用下易产生孔洞变形、精度不足以及两侧褶皱(wrinkle)等现象。
本文的像素排列设计可有效解决上述问题,在提高屏幕PPI的同时降低金属掩膜板(FMM)的张网难度,确保张网的精度,降低张网难度与要求。
实用新型内容
为此,需要提供一种掩膜板,提高张网精度,防止所述蒸镀通孔变形。
为实现上述目的,本申请提供了一种掩膜板,所述掩膜板上设置有多个蒸镀通孔,且多个蒸镀通孔阵列排布于所述掩膜板上;颜色相同的相邻的多个子像素共用一个所述蒸镀通孔,且每个所述蒸镀通孔的形状与多个相同颜色子像素形成的形状相适配;所述蒸镀通孔用于供蒸镀材料穿过并沉积在子像素上,形成在多个颜色相同的所述子像素。
进一步地,所述子像素为等边三角形;当多个同样颜色的所述子像素拼接形成菱形时,所述蒸镀通孔为菱形通孔。
进一步地,所述子像素为等边三角形;当多个同样颜色的所述子像素拼接形成等腰梯形时,所述蒸镀通孔为等腰梯形通孔。
进一步地,所述子像素为等边三角形;当多个同样颜色的所述吧子像素拼接形成六边形时,所述蒸镀通孔为六边形通孔。
进一步地,多个同样颜色的所述子像素拼接形成圆形,所述蒸镀通孔为圆形通孔。
进一步地,三个所述子像素组成一个像素单元,且三个所述子像素分别为R、G、B。
区别于现有技术,上述技术方案将所述子像素的位置进行调换,在数量不变的情况下,可将相同单一子像素旋转至同一方向位置,此时可将所述掩膜板(FMM)上的所述蒸镀孔洞扩大,降低张网难度,且通过本所述掩膜板(FMM)通用的效果,可实现蒸镀工艺时R/G/B互相备份使用。
附图说明
图1为所述像素结构图;
图2为所述子像素排列图;
图3为所述蒸镀通孔为菱形时结构图;
图4为所述子像素排列成六边形时结构图;
图5为像素为六边型时所述像素结构图;
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