[实用新型]一种点蒸发源结构有效
| 申请号： | 202120467405.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN215251117U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;刘胜芳;赵铮涛;李维维;李雪原;许嵩 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种点蒸发源结构，具有：坩埚，能够容纳材料；凹孔，设置在坩埚的中部附近；外部加热器，围绕坩埚；内部加热器，能够伸入坩埚的凹孔内；外壳，能够容纳坩埚、外部加热器和内部加热器，改善材料在加热过程中的受热均匀性，减少材料因受热不均导致的裂解、堵口以及溢流现象；提高材料从升温速率，减少材料从室温到速率稳定的时间，减少准备时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽熙泰智能科技有限公司，未经安徽熙泰智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120467405.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
