[实用新型]一种点蒸发源结构有效
| 申请号： | 202120467405.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN215251117U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;刘胜芳;赵铮涛;李维维;李雪原;许嵩 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种点蒸发源结构，其特征在于，具有：
坩埚，能够容纳材料；
凹孔，设置在所述坩埚的中部附近；
外部加热器，围绕所述坩埚；
内部加热器，能够伸入所述坩埚的凹孔内；
外壳，能够容纳所述坩埚、外部加热器和内部加热器；
所述坩埚的外周设有外沿，所述外沿能够支撑在所述外壳的开口上；
所述外部加热器为圆环形；
所述外部加热器包括顶部陶瓷环和底部陶瓷环，并设有垂直陶瓷柱连接所述顶部陶瓷环和底部陶瓷环；所述外部加热器内设有圆形加热丝。
2.如权利要求1所述的点蒸发源结构，其特征在于，所述内部加热器包括陶瓷柱和加热丝，所述加热丝缠绕在所述陶瓷柱上。
3.如权利要求2所述的点蒸发源结构，其特征在于，所述坩埚内设有蒸发源温度传感器，所述内部加热器和外部加热器上设有蒸发源电源接口。
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