[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构有效
| 申请号： | 202120439531.6 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214311293U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴想;周加宏;戴文海 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其包括内部挖空的圆盘式冷板本体；呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体底部的制冷片；固定设于所述冷板本体底部的用于控制制冷片通电的开关；呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体上的硅片定位凸块；用于检测感应所述冷板本体温度的温感探头，所述温感探头经温感压块固定设于所述冷板本体的底部，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，且不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 板结 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西维易尔半导体设备有限公司，未经江西维易尔半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120439531.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置
- 下一篇：一种便于安装的金属循环器
