[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构有效
| 申请号： | 202120439531.6 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214311293U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴想;周加宏;戴文海 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 板结 | ||
1.一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：
包括内部挖空的圆盘式冷板本体(1)；
呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体(1)底部的制冷片(2)；
固定设于所述冷板本体(1)底部的用于控制制冷片(2)通电的开关(6)；
呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体(1)上的硅片定位凸块(3)；
用于检测感应所述冷板本体(1)温度的温感探头(9)，所述温感探头(9)经温感压块(8)固定设于所述冷板本体(1)的底部。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述冷板本体(1)的底部还设有第一凹槽(5)和第二凹槽(7)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述开关(6)固定设于所述第一凹槽(5)内。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述冷板本体(1)上还设有多个定位孔(4)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述硅片定位凸块(3)分别经所述定位孔(4)均匀可拆卸的固定于所述冷板本体(1)上。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)的一侧设有至少两个限位通孔(10)。
7.根据权利要求6所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感探头(9)设于所述限位通孔(10)内而固定连接于所述温感压块(8)。
8.根据权利要求2或7所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)设于第二凹槽(7)内而固定于所述冷板本体(1)的底部。
9.根据权利要求8所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)上还设有其用于固定连接于所述冷板本体(1)底部的安装孔(11)。
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