[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置有效
| 申请号： | 202120439504.9 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214311292U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴想;戴文海;周加宏 | 申请（专利权）人： | 江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其包括底板、分别相对应固定设于底板两侧的侧板，主控制基座和连接板，底板上固定设有冷板底座，其内设有冷板和散热块，冷板和散热块经盖板固定设于冷板底座内，冷板上设有多个可调节定位的硅片定位块和顶孔，冷板的底部设有温感压块和均匀分布并依次电性连接的制冷片，温感压块内设有温感探头，主控制基座上固定安装有气缸和温控控制电路板，气缸的伸缩杆上连接有支架连接块，其的一端固定设有顶杆并位于冷板底座内，顶杆的一端穿过散热块并设于顶孔内，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶匀胶 显影 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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