[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置

权利要求书

1.一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括底板(1)、分别相对应固定设于所述底板两侧的侧板(2)，固定设于所述底板(1)上并位于两所述侧板(2)之间的主控制基座(8)和连接板(14)，其特征在于：所述底板(1)上固定设有冷板底座(6)，冷板底座(6)内设有冷板(4)和散热块(5)，所述冷板(4)和散热块(5)经盖板(3)固定设于所述冷板底座(6)内，所述冷板(4)上设有多个可调节定位的硅片定位块(401)和顶孔(402)，所述冷板(4)的底部设有温感压块(404)和均匀分布并依次电性连接的制冷片(403)，温感压块(404)内设有用于检测感应所述冷板(4)温度的温感探头(4042)，所述主控制基座(8)上固定安装有气缸(9)和温控控制电路板(10)，气缸(9)的伸缩杆上连接有支架连接块(11)，支架连接块(11)的一端固定设有顶杆(12)并位于所述冷板底座(6)内，顶杆(12)的一端穿过所述散热块(5)并设于所述顶孔(402)内。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述冷板(4)的底部还固定设有开关(405)，所述温控控制电路板(10)分别电性连接于开关(405)和所述制冷片(403)。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述温感压块(404)上还设有用于安装所述温感探头(4042)的安装孔(4041)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述散热块(5)包括第一散热块(501)、第二散热块(502)和循环冷却水管(503)，第一散热块(501)和第二散热块(502)之间固定连接，循环冷却水管(503)卡设于第一散热块(501)和第二散热块(502)之间。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述第二散热块(502)上设有限位凹槽(504)，所述循环冷却水管(503)经限位凹槽(504)卡设于所述第二散热块(502)上。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：两所述侧板(2)的内侧壁上分别对应设有限位块(7)。

7.根据权利要求6所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述冷板底座(6)分别经所述限位块(7)固定设于所述底板(1)上。

8.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，其特征在于：所述主控制基座(8)上还固定设有防尘盖(13)。