[实用新型]一种平面靶靶材屏蔽装置有效
| 申请号： | 202120435997.9 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214736057U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王慧明;徐浩 | 申请（专利权）人： | 长利玻璃洪湖有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 矫娅琳 |
| 地址： | 430024 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种平面靶靶材屏蔽装置，其不同之处在于：其包括压条、弹性卡接件、屏蔽条、及插件；压条开设有间隔设置的若干个圆形第一插孔，各第一插孔的孔壁分别开设有内外贯通的若干个卡孔，各卡孔的外端分别形成有内螺纹、内端分别形成有收口，各卡孔内分别设置有弹性卡接件；弹性卡接件包括由内至外依次设置的钢球、弹簧、及与卡孔的内螺纹旋接的弹簧限位螺母，钢球的顶部从收口处漏出；屏蔽条覆盖在压条的下表面，屏蔽条开设有与各第一插孔一一对应的第二插孔，各第二插孔与对应的第一插孔内分别共同插接有被构造成圆柱体形的插件；各插件的外周分别开设有配合对应钢球卡接的环形槽。本实用新型避免溅射物沉积到沉孔内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 靶靶材 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
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