[实用新型]一种平面靶靶材屏蔽装置

说明书

本实用新型涉及一种平面靶靶材屏蔽装置，其不同之处在于：其包括压条、弹性卡接件、屏蔽条、及插件；压条开设有间隔设置的若干个圆形第一插孔，各第一插孔的孔壁分别开设有内外贯通的若干个卡孔，各卡孔的外端分别形成有内螺纹、内端分别形成有收口，各卡孔内分别设置有弹性卡接件；弹性卡接件包括由内至外依次设置的钢球、弹簧、及与卡孔的内螺纹旋接的弹簧限位螺母，钢球的顶部从收口处漏出；屏蔽条覆盖在压条的下表面，屏蔽条开设有与各第一插孔一一对应的第二插孔，各第二插孔与对应的第一插孔内分别共同插接有被构造成圆柱体形的插件；各插件的外周分别开设有配合对应钢球卡接的环形槽。本实用新型避免溅射物沉积到沉孔内。

技术领域

本实用新型涉及屏蔽装置领域，尤其是一种平面靶靶材屏蔽装置。

背景技术

请参考图1至图2，现有技术中，磁控溅射玻璃镀膜设备包括真空腔体、阴极体1、和平面靶靶材2，平面靶靶材2安装在阴极体的下表面1a，阴极体1固定在真空腔体内部上侧，在玻璃镀膜时，玻璃放置在真空腔体的下侧，通过朝下设置的平面靶靶材2对玻璃进行镀膜，但是由于平面靶靶材2一般是通过压条3及固定螺丝302安装在阴极体1上的，且固定螺丝302为内六方螺丝，用于安装固定螺丝302的螺孔为沉孔，在镀膜过程中，会有大量的溅射物会溅射到压条3下表面并沉积到沉孔301内，沉孔301的孔径变小，使得在平面靶靶材2耗损过多需要更换时，用于拆卸固定螺丝的工具难以放置到沉孔301内，平面靶靶材2不易从阴极体1上拆卸下来。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种平面靶靶材屏蔽装置，避免溅射物沉积到沉孔内。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为：一种平面靶靶材屏蔽装置，用于将所述平面靶靶材安装在阴极体上的压条的下表面具有若干个沉孔；其不同之处在于：其包括压条、弹性卡接件、屏蔽条、及插件；所述压条开设有间隔设置的若干个圆形第一插孔，各所述第一插孔的孔壁分别开设有内外贯通的若干个卡孔，各所述卡孔的外端分别形成有内螺纹、内端分别形成有收口，各所述卡孔内分别设置有所述弹性卡接件；所述弹性卡接件包括由内至外依次设置的钢球、弹簧、及与所述卡孔的内螺纹旋接的弹簧限位螺母，所述钢球的顶部从所述收口处漏出；所述屏蔽条覆盖在所述压条的下表面，所述屏蔽条开设有与各所述第一插孔一一对应的第二插孔，各所述第二插孔与对应的所述第一插孔内分别共同插接有被构造成圆柱体形的插件；各所述插件的外周分别开设有配合对应所述钢球卡接的环形槽。

按以上技术方案，各所述第一插孔的孔壁分别开设有两个相对设置的卡孔。

按以上技术方案，所述压条下表面形成有间隔设置的若干个限位凸起，所述屏蔽条上开设有与各所述限位凸起一一对应的限位槽。

按以上技术方案，所述环形槽的槽截面为与对应所述钢球相适应的弧形。

按以上技术方案，所述插件的外端设置有拉环，或，所述插件的外端形成有方便拔出的防滑纹。

按以上技术方案，所述插件的内端形成有导向面。

对比现有技术，本实用新型的有益特点为：该平面靶靶材屏蔽装置，钢球、弹簧、及弹簧限位螺母由内至外依次设置在卡孔内，弹簧限位螺母与卡孔的内螺纹旋接，所述钢球的顶部从所述收口处漏出，钢球受到弹簧和插件的作用力可以上下移动，方便拆装插件；插件穿过屏蔽条的第二插孔并插入到压条的第一插孔内，插件的环形槽配合钢球卡接，使屏蔽条安装在压条的下表面并遮蔽压条的沉孔，避免溅射物沉积到沉孔内，方便更换平面靶靶材。

附图说明

图1为现有技术中平面靶靶材及阴极体的结构示意图；

图2为现有技术图1中A-A剖视图；

图3为本实用新型实施例中一种平面靶靶材屏蔽装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例图3中B-B剖视图；