[实用新型]一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置

摘要

本公开提供了一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，包括：基座；与基座连接的驱动机构和宏动平台；驱动机构与宏动平台连接，驱动宏动平台在基座上进行设定轨迹的运动；所述宏动平台上安装有微动平台，所述微动平台包括依次连接的驱动器、杠杆放大机构和刀具载物台；可以通过音圈电机驱动导轨实现大行程位移，也可以通过压电陶瓷驱动位移平台实现高精度的运动，两者使用独立驱动器进行驱动互不干扰，可以单独或是相互配合实现多种运动形式，解决了音圈电机驱动器单独使用时存在惯性大、精度低等问题，以及一般压电陶瓷驱动器的驱动力较小进而导致整个装置的行程一般在微米级别，不能够满足快刀伺服系统毫米级的行程要求的问题。