[实用新型]一种面型检测系统有效
| 申请号： | 202120367903.9 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN214173285U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种面型检测系统，包括光源、成像镜头以及图像传感器，所述光源提供的光束经过所述成像镜头照射在被测样品的被测面上，所述图像传感器检测所述被测面的散射光以确定所述被测面上各点的散射光的光强最大时对应的波长，并根据各点确定的波长确定该点相对于所述成像镜头的距离，以确定所述被测样品的形貌。该面型检测系统的检测速度要高于探针式面型测量的系统的检测速度，无需采用高精度(X，Y，Z)三维位移定位系统或者一维Z向位移定位系统，可以实现高通量、低成本检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 系统 | ||
【主权项】：
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