[实用新型]一种面型检测系统

权利要求书

1.一种面型检测系统，其特征在于，包括光源、成像镜头以及图像传感器；所述光源提供的光束经过所述成像镜头照射在被测样品的被测面上，所述图像传感器检测所述被测面的散射光以确定所述被测面上各点的散射光的光强最大时对应的波长，并根据各点确定的波长确定该点相对于所述成像镜头的距离，以确定所述被测样品的形貌。

2.如权利要求1所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述光源为照明光源。

3.如权利要求1所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述光源发出的光束为宽光谱连续光。

4.如权利要求1所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述面型检测系统还包括波长调制组件，所述波长调制组件用于调制所述光源提供的光束，使其变为窄光谱连续光，并且中心波长可调。

5.如权利要求4所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述波长调制组件对所述光源提供的光束进行连续调制。

6.如权利要求4所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述面型检测系统还包括反射镜，所述波长调制组件调制后的光束传输至所述反射镜并经所述反射镜反射后传输至所述成像镜头。

7.如权利要求6所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述反射镜的反射率与透射率相等，或者，所述反射镜的反射率与透射率比值根据光源的强度和图像传感器的灵敏度设计。

8.如权利要求1所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述图像传感器为二维图像传感器。

9.如权利要求1所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述成像镜头为色差成像镜头。

10.如权利要求1至9中任一项所述的一种面型检测系统，其特征在于，所述被测样品的被测面为自由曲面。