[实用新型]自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备

摘要

本实用新型公开了一种自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备，自动开盖炉包括：炉本体，炉本体包括炉身以及设置于炉身上的炉盖组件，炉盖组件与炉身可拆卸连接；以及开盖机构，开盖机构包括驱动源、与驱动源驱动连接的传动组件以及与传动组件传动连接的开盖臂组件，开盖臂组件与炉盖组件连接，驱动源用于驱动传动组件运动，以使开盖臂组件带动炉盖组件靠近或远离炉身；其中，传动组件包括能够受驱动源控制而自转的丝杠、与丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于丝杠外并与丝杠相间隔的升降轴，升降轴的一端与螺母固定连接，另一端与开盖臂组件固定连接。上述的自动开盖炉无需人工手动开盖，可以避免因炉内高温而烫伤。