[实用新型]自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备

权利要求书

1.一种自动开盖炉，其特征在于，所述自动开盖炉包括：

炉本体，所述炉本体包括炉身以及设置于所述炉身上的炉盖组件，所述炉盖组件与所述炉身可拆卸连接；以及

开盖机构，所述开盖机构包括驱动源、与所述驱动源驱动连接的传动组件以及与所述传动组件传动连接的开盖臂组件，所述开盖臂组件与所述炉盖组件连接，所述驱动源用于驱动所述传动组件运动，以使所述开盖臂组件带动所述炉盖组件靠近或远离所述炉身；

其中，所述传动组件包括能够受所述驱动源控制而自转的丝杠、与所述丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于所述丝杠外并与所述丝杠相间隔的升降轴，所述升降轴的一端与所述螺母固定连接，另一端与所述开盖臂组件固定连接。

2.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，所述炉盖组件与所述炉身沿竖直方向排布，且所述炉盖组件位于所述炉身的上方，所述丝杠与所述升降轴同轴设置，且所述丝杠以及所述升降轴均沿竖直方向设置。

3.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，还包括支架，所述炉本体设置于支架上，所述开盖机构还包括设置于所述支架上的限位筒，所述限位筒套设于所述升降轴外，且所述限位筒与所述升降轴相间隔，所述限位筒设有沿所述限位筒的轴向延伸的限位孔，所述升降轴的外壁上设置有限位轴，所述限位轴穿设于所述限位孔。

4.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，所述开盖臂组件包括套设于所述升降轴外的卡套单元、与所述卡套单元连接的连接板、以及与所述连接板连接的连接件，所述连接件与所述炉盖组件连接。

5.根据权利要求4所述的自动开盖炉，其特征在于，所述卡套单元包括第一卡套、以及与所述第一卡套连接的第二卡套，所述第一卡套与所述第二卡套配合形成安装孔，所述升降轴穿设于所述安装孔内。

6.根据权利要求5所述的自动开盖炉，其特征在于，所述第一卡套与所述第二卡套可拆卸连接。

7.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，所述炉盖组件包括盖板以及护套，所述盖板可拆卸地盖设于所述炉身上，所述盖板远离所述炉身的一侧设有储液槽，所述护套与所述盖板连接并盖住所述储液槽。

8.根据权利要求7所述的自动开盖炉，其特征在于，所述护套上设有与所述储液槽连通的进口。

9.根据权利要求7所述的自动开盖炉，其特征在于，所述储液槽的底壁上设置有支撑环，所述护套支撑在所述支撑环上并盖住所述储液槽；

其中，所述支撑环将所述储液槽分成外部区域以及内部区域，且所述支撑环设有用于连通所述外部区域与所述内部区域的开口。

10.一种碳化硅晶体生长设备，其特征在于，包括如上权利要求1至9任一项所述的自动开盖炉。