[实用新型]应力降低机构有效
| 申请号: | 202120346851.7 | 申请日: | 2021-02-07 |
| 公开(公告)号: | CN216141606U | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
| 发明(设计)人: | 翁勇新;张万财 | 申请(专利权)人: | 厦门海辰新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 周宇 |
| 地址: | 361000 福建省厦门市火炬高新区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | 本申请提供一种应力降低机构,属于消除薄膜应力技术领域。该应力降低机构包括沿柔性膜的输送路径依次设置的放卷装置、主冷辊和收卷装置。放卷装置和主冷辊之间设置蒸镀装置,用于对柔性膜进行加热和镀膜;主冷辊和收卷装置之间设置等离子装置,用于提供等离子以轰击柔性膜。该机构既可以进行镀膜,又将镀膜过程中产生的应力消除,避免镀膜后的薄膜出现变形、打皱等现象。 | ||
| 搜索关键词: | 应力 降低 机构 | ||
【主权项】:
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